合肥开关柜回收 无锡崇安回收单晶炉设备厂家
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单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动,便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计,提高稳定性。支撑柱安装在炉体支撑平台的上面,便于平台下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。为了避免下驱动装置4受到外界震动的影响,进而保下驱动装置4的工作精度,所述底座1和下驱动装置4之间设置有减震装置,所述下驱动装置4的底端设置有承载板41,所述承载板41通过少两个螺钉16固定连接在底座1上,所诉减震装置包括与螺钉16分别一一对应的下减震橡胶垫171和上减震橡胶垫181,所述下减震橡胶垫171套装在螺钉16的下端部,所述下减震橡胶垫171的底部和底座1抵接,所述下减震橡胶垫171的顶部和承载板41抵接,以便于通过下橡胶减震171垫吸收从外界传来的震动,以避免下驱动装置4受到外界震动的影响,所述上减震橡胶垫172套装在螺钉16的上端部,且所述上减震橡胶垫172与承载板41的上端面压接,以避免螺钉16的震动影响到承载板41。