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DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤、8～12公斤、15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成、共同进步的，这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整单晶炉回收商家简介-本是工商局严格注册的正规，是一家专门致力于环保的新兴企业。长期向各企事业单位以安装、维护、出售、回收、各种单晶炉设备、本竭诚为各单位提供、快速、、热情周到的服务。本在长期从事安装、拆除工程行业，积累了丰富的经验以及正确的经营理念、和严格的营销管理，规范运作，本着“学习、诚心、认真、守信”的经营理念出发，诚信服务取得广大客户的信赖和满意。在同行业和客户中有着较好的信誉。本站凭借雄厚的经济实力，恪守诚信为本的原则，在长期的经营活动中以良好的商业信誉、赢得了众多客户的信赖，并在商业界获得良好的口碑。秉承”诚信为本”的崇高信念，以可靠服务的质量，合理回收的价格，完善的与新老客户真诚合作，共创更加辉煌的明天．感谢您！再次光临我们的网站。
