景德镇卧式真空炉设备回收 绍兴上虞蓝宝石直拉炉回收咨询价格
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一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,在半导体材料中用量和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用低速提拉、生长过程均速提拉的办法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ,随着 IT产业的迅速发展 ,单晶硅生产市场需求剧,研制一种满足工艺要求、低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。熔化期的氧化在炉料将近全部熔化,而被炉渣覆盖时,取样分析并根据分析结果调整钢和渣的成分。此时,炉内是氧化性气氛,加上熔池中有来自锈蚀废钢和在熔化过程中废钢氧化产生的氧化铁,或者来自炉料铁矿石的氧化铁,钢液中的硅、磷、锰等元素会大量氧化。如果熔池有足够高的温度尤其是在吹氧时,氧炬附近的钢水可引起碳的氧化。